Устройство уплотнения и разуплотнения каналов волноводного типа на InP-InGaAsP
Описано устройство уплотнения и разуплотнения каналов на скрещенных оптических волноводах с вертикальной связью. Волноводы со структурой InP-InGaAsP формируются на подложках InP по технологии осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений. Приведены параметры четырехканального устройства, предназначенного для использования в диап. 1,55 мкм. Конструктивной особенностью устройства является использование вертикальной связи между волноводами.