Аппаратура, сборка и способ изготовления фиксированных микролинзовых сборок для оптоэлектронных устройств и оптических волокон
Предлагаются способ монтажа сборок, содержащих электронные узлы, сборки с фиксируемыми микролинзами для оптоэлектронных устройств и линзовые структуры с микрофиксацией, а также оптические волокна. Устройство содержит лазер с вертикально размещенным резонатором, оптоэлектронный элемент, обеспечивающий преобразование оптического сигнала в электрический, и набор линз. Формирование оптических волноводов на поверхности сборки производится путем реактивной ионной гравировки. Поверхности отражающих линз из кремния покрываются путем выпаривания отражающей пленки. Фотоприемник устанавливается путем юстироки на оптической оси в V-образной канавке с фиксируемыми линзами.