Интерферометр Маха-Цендера и массив волноводных дифракционных решеток, интегрированные с мульти/демультиплексором со светочувствительной регулировкой длины волны
Успешно изготовлен 64-канальный мульти/демультиплексор с 25 ГГц разнесением каналов методом монолитной интеграции интерферометра Маха-Цендера и 2-х массивов волноводных дифракционных решеток в чипе планарной оптической ИС на основе кремния. Регулировка центр. длины волны волноводных дифракционных решеток с высокой точностью осуществлялась с помощью 193 нм излучения УФ-лазера. Подобная конструкция мульти/демультиплексора обладает низкими вносимыми потерями и перекрестными искажениями.