Изготовление апериодических дифракционных решеток на кремний-на-изоляторе ребристом волноводе с помощью электроннолучевой литографии
Представлен способ изготовления апериодической решетки Брэгга в ребристом волноводе, выполненном по технологии кремний-на-изоляторе. Способ допускает гибкость в определении различных характеристик апериодической дифракционной решетки, таким обр. м. б. реализован полный диапазон оптических фильтров на дифракционных решетках. Процесс изготовления включает оптическую и электронно-лучевую литографию, за которыми следует реактивное ионное травление для одновременного изготовления волновода и структуры дифракционной решетки.