Изготовление и определение характеристик оптических волноводов с низкими потерями, использующих новый светочувствительный полиимид
Предложен простой способ изготовления оптических волноводов, использующих новый светочувствительный полиимид. Полиимид имеет температуру плавления стекла ЭКВИВ330°C и рисунок на нем непосредственно формируется с помощью УФ облучения и последующего мокрого хим. травления, что позволяет создать недорогую технологию изготовления. Изготовленные волноводы обладают низким оптическим поглощением на 1,3 и 1,5 мкм длинах волн. Одно- и многомодовые волноводы с утопленными ребрами были изготовлены и протестированы. Измеренные оптические потери на распространение на 1,55 мкм длине волны составили 0,4 дБ/см.