Сети и системы связи

Предложен способ изготовления оптических элементов на основе Si в SiNx мембранах. Эти устройства предназначены для передачи излучения видимого и ИК диапазонов и м. б. использована для различных типов оптических элементов, таких как дифракционные решетки, линзы, дифракционные оптические элементы и т. д. Разработанные структуры предназначены для изготовления оптических передающих элементов. Т. к. процесс изготовления основан на технологии микромех. обработки кремния, такие элементы м. б. легко встроены в др. активные оптические компоненты микрооптоэл.-мех. систем.