Компоненты на основе кремниевых волноводов для длинно-волнового ИК диапазона

Предложено диапазон рабочих длин волн оптических ИС и оптоэлектронных ИС на основе Si волноводов расширить в сторону длинноволнового ИК диапазона от 1,55 мкм связного диапазона (от 1,55 до 100 мкм). Ребристые мембранные волноводы на Si обеспечиваю передачу с меньшими потерями в диапазоне от 1,2 до 6 мкм и от 24 до 100 мкм. Эти волноводы совместимы с производством микроэлектроники на Si. В качестве альтернативы м. б. использованы ребра из кристалл. Ge, выращенные на Si подложки, имеющие проводимость с низкими потерями в диапазоне от 1,9 до 14,7 мкм. Особое внимание привлекают волноводы с полой сердцевиной на основе Si.