Сети и системы связи

Рассмотрены возможные применения технологии микроэл.-мех. систем в микро оптике. Особое внимание уделено разработкам в области волоконно-оптической связи, таким как оптические кроссовые соединители, перем. оптические аттенюаторы и пространственные модуляторы оптического излучения, использующие микроэл.-мех. сканирующие зеркала. Рассмотрены общие вопросы в области микроэл.-мех. систем, которые делают возможными реализовать такие решения, как низкое управляющее напряжение, высокая устойчивость к мех. напряжениям и более высокая эл.-мех. стабильность. В качестве дальнейшей перспективы развития микроэл.-мех. систем рассмотрены волноводы на фотонных кристаллах, интегрированные с микро/нано-мех. системами, которые позволяют реализовать Оптические ИС с высокой степенью интеграции.