Мех. и температурная стабильность фильтров плотного спектрального мультиплексирования, изготовленных с помощью реактивного осаждения при наличии ионов с применением электронной пушки
Описаны результаты измерения в реальном времени температурной стабильности узкополосных фильтров на подложках различных типов для фильтров плотного спектрального мультиплексирования в волоконно-оптических системах передачи. Фильтры плотного спектрального мультиплексирования разрабатывались как полностью диэл. фильтры Фабри-Перо и изготавливались с помощью реактивного осаждения в присутствии ионов. Ta[2]O[5] и SiO[2] использовались в качестве слоев с высоким и низким показателем преломления, соответственно, для построения фильтров. В процессе изготовления оценивалась точность и стабильность нанесения покрытия для получения температурной стабильности центр. длины волны.