Одночиповая 1х84 решетка зеркал, выполненных по MEMS технологии, для применения в оптических системах связи
Разработана решетка зеркал, изготовленных с помощью микромех. обработки. Представлено одночиповое зеркало, состоящее из 84-х зеркал, собранных в линейную решетку со средним шагом ЭКВИВ95 мкм. Каждое зеркало снабжено парой поликремниевых управляющих электродов, размещенных ниже зеркала. Эти электроды позволяют осуществлять независимое вращение зеркал вокруг осей, параллельных продольному направлению решетки при приложении определенного напряжения. Угол наклона зеркал составил +/-2 градуса при управляющем напряжении .