Управление показателем преломления оптического волновода
Предложен способ селективной регулировки показателя преломления для части пропускающей излучение части оптического волновода. Данный способ позволяет использовать имплантацию легирующих материалов в ту часть волновода, в которой требуется подстроить показатель преломления. Предложена дифракционная решетка на массиве волноводов, выполненная с помощью данного способа. Интерферометры Маха-Цендера, перемежители и ребристые волноводы из кремния м. б. также изготовлены данным способам.